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“기상축 증착법”으로 총 1건 검색

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  • 기상축 증착법, 氣相軸蒸着法, Vapour Phase Axial Deposition, VAD
    첨가된 원소인 도펀트(dopant)를 포함한 원료 가스의 화염 가수 분해(flame hydrolysis)로 유리 미립자를 형성하고, 이것을 봉형(bar-shaped) 타깃 끝에 분사시켜 방향으로 다공질 모재(parent metal)를 성장시킨 다음 가열 처리하여 투명한 모재를 얻는 방. VAD법이라 약칭한다. 대형 모재를 연속적으로...